關(guān)于作者
中國科學(xué)院金屬研究所
薄膜與涂層
材料新視野
2014年09月30日
當(dāng)固體或液體的一維線性尺度遠(yuǎn)小于其他二維尺度時，這樣的固體或液體稱為膜。通常，膜可以分為兩類，一類是厚度大于1*m的膜，稱為涂層（Coatings），如硬質(zhì)涂層、高溫防護(hù)涂層等；另一類則是厚度小于1*m的膜，稱為薄膜（Films），如光電功能薄膜等。
薄膜與涂層制備技術(shù)
冷噴涂：超聲加速的固體顆粒在撞擊到鍍件表面時動能變?yōu)闊崮?，完成鍍膜?
等離子噴涂：在兩固定電極之間產(chǎn)生的電弧使氣體電離，加熱并將材料噴向工件。
超音速火焰噴涂：利用高壓燃燒火焰對粉末進(jìn)行加熱、加速后噴到工件表面而形成涂層。
電子束-物理所相沉淀：用電子束加熱水冷坩堝中的蒸發(fā)材料使其熔融或升華氣化沉積在基片上。
電弧離子鍍：鍍膜材料作為靶極，借助觸發(fā)裝置使靶表面產(chǎn)生弧光放電，膜材料在電弧作用下，產(chǎn)生無熔蒸發(fā)并沉積在基片上。
磁控濺射：借助于靶表面上形成的正交電子磁場，帶電離子轟擊靶材時發(fā)生能量和動量轉(zhuǎn)移，靶材原子從表面逸出并沉積在基片上。
薄膜與涂層種類
薄膜與涂層制備技術(shù)
冷噴涂：超聲加速的固體顆粒在撞擊到鍍件表面時動能變?yōu)闊崮?，完成鍍膜?
等離子噴涂：在兩固定電極之間產(chǎn)生的電弧使氣體電離，加熱并將材料噴向工件。
超音速火焰噴涂：利用高壓燃燒火焰對粉末進(jìn)行加熱、加速后噴到工件表面而形成涂層。
電子束-物理所相沉淀：用電子束加熱水冷坩堝中的蒸發(fā)材料使其熔融或升華氣化沉積在基片上。
電弧離子鍍：鍍膜材料作為靶極，借助觸發(fā)裝置使靶表面產(chǎn)生弧光放電，膜材料在電弧作用下，產(chǎn)生無熔蒸發(fā)并沉積在基片上。
磁控濺射：借助于靶表面上形成的正交電子磁場，帶電離子轟擊靶材時發(fā)生能量和動量轉(zhuǎn)移，靶材原子從表面逸出并沉積在基片上。
薄膜與涂層種類
